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工業用高純氦氣

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工業用高純氦氣

工業用高純氦氣 (He)

項目名稱 純度指標(%)
氦氣 ≥99.9999 ≥99.999 ≥99.99
雜質含量(ppm)

 

氧氣(O2) ≤0.5 ≤1 ≤2
水(H2O) ≤0.2 ≤1 ≤10
氮氣(N2) ≤10 ≤5 ≤10
氫氣(H2) ≤3 ≤1 ≤3
氬氣(Ar) ≤2 ≤1 ≤2
一氧化碳(CO) ≤0.1 ≤1 ≤1
二氧化碳(CO2) ≤1 ≤1 ≤1
碳氫化合物(THC) ≤0.2 ≤0.5 ≤3

 

 

工業用高純氦氣

工業用氦氣包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。

工業用氦氣等用途:化學氣相淀積、晶體生長、等離子干刻、特種混合氣等,用作標準氣、平衡氣、醫療氣、氣球電子管潛水服等的充氣。

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